六氟化硫在各行业的用途

1、用做电气绝缘介质

六氟化硫主要用做电气绝缘介质，六氟化硫可以使电器设备小型轻量化且运行安全可靠，同时还可以降低设备造价。用六氟化硫作为绝缘介质的电力设备主要有变压器和断路器。大功率的变压器大多使用六氟化硫做绝缘介质，一些小型六氟化硫已广泛用做各种研究和工业用仪器的辅助部件。

2、作为大气污染研究的示踪剂

为了研究污染物在大气中的传送和扩散规律，人工释放示踪剂于大气中，然后在下风方向进行追踪测定，从而验证和发展大气扩散理论，建立大气污染浓度估算模式。六氟化硫作为示踪剂的优点很多，六氟化硫在常温下的化学惰性强，光照下稳定性高，难溶于水，能随大气运动，无沉降无毒。加之其释放、采取和分析方法简单，因而成为当前较理想、应用较广的一种大气示踪剂。

3、在半导体器件生产加工工艺中的应用

氟化物气体被广泛应用于半导体加工工艺中。由高纯硅组成的晶片是半导体工业的基础。可用蚀刻后的腔体清洗沉积在化学气相沉积腔体中，为了防止晶片在下一步骤中被沉积物污染，腔体必须在一定的间隔时间内进行清洗，为了保护环境，六氟化硫可以循环使用。